塵埃粒子計數器性能參數的測量方法

塵埃粒子計數器性能參數的測量方法

取樣體積

取樣體積測量主要包含塵埃粒子計數器內置流量計流量誤 差以及計時器計時誤

差。流量誤差需要在10000級的潔凈室進行，由于流量計的測量結果與測量環(huán)境有

關，因此測量前需記錄測量時的溫度、濕度以及大氣壓力。流量誤差測量是將標準

流量計接到塵埃粒子計數器的采樣口，標準流量計相對誤差應不超過±1.5%，塵埃

粒子計數器顯示結果與標準流量計測試結果比較從而得到流量誤差。計時器計時誤

差是將塵埃粒子計數器測試結果與秒表測試結果比較得到的，秒表分度值至少為

0.01s。

塵埃粒子計數器流量誤差應不超過±5%，計時誤差應不超過±1%。

尺寸校準

尺寸校準時，根據塵埃粒子計數器測量范圍將單一尺寸的 標準乳膠球顆粒懸浮于

潔凈干燥的空氣中，濃度約為zui大飽和濃度的10%左右，讓塵埃粒子計數器實測，

同時采用示波器或脈沖高度分析儀監(jiān)測儀器的輸出信號，示波器或脈沖高度分析儀

監(jiān)測儀器顯示的中值電壓即為塵埃粒子計數器所選粒徑檔相應尺寸對應的閾值電

壓。

根據塵埃粒子計數器測量范圍至少選取3種單一尺寸的標準乳膠球顆粒，得到所選

粒徑檔相應尺寸對應的閾值電壓，并根據廠商推薦的計算公式，計算其他粒徑檔相

應尺寸對應的閾值電壓。

偽計數

JJF1190-2008是采用自凈時間來對偽計數進行考核的。塵 埃粒子計數器先對實驗

室環(huán)境測量1min后，將塵埃粒子計數器采樣口接過濾器，使塵埃粒子計數器處

于自凈狀態(tài)，開始計時，連續(xù)進行計時，塵埃粒子計數器連續(xù)三次測量結果為零時

停止計時，從儀器開始自凈到停止計時之間的時間為自凈時間，自凈時間要求不大

于10min。

標準是自凈1h后，連續(xù)測量20min以上，15min內塵埃粒子計數器計數結果為

0，25min內塵埃粒子計數器計數結果不能超過1個，50min內塵埃粒子計數器計數結

果不能超過4.6個。

zui大飽和濃度

塵埃粒子計數器在測量時，由于傳感區(qū)重合效應的存在， 隨著顆粒數量的增加，

儀器檢測到的顆粒數量將會小于實際的顆粒數量，并隨顆粒數量的增多而誤差增

加。測量方法是根據塵埃粒子計數器測量范圍選擇與zui小粒徑檔相應尺寸相同的單

分散球形顆粒，根據廠商給出的參考zui大飽和濃度采用粒子發(fā)生器發(fā)生單分散球形

顆粒，采用塵埃粒子計數器進行計數，然后調節(jié)稀釋流量為原來流量的 1 /2 ，同

時采用塵埃粒子計數器進行計數測試結果應為原來測試結果的50%±10%，如果大于

60%則廠商給出的參考zui大飽和濃度過高則降低顆粒數量濃度直至滿足50%±10%的

要求。此時測量的顆粒數量濃度即為塵埃粒子計數器的zui大飽和濃度。

計數響應

當塵埃粒子計數器使用的時間過長，一些顆粒可能會在傳 感器中形成沉積物，影

響下一次測量結果。計數響應測量方法根據塵埃粒子計數器測量范圍選擇與zui小粒

徑檔相應尺寸相同的單分散球形顆粒，采用粒子發(fā)生器發(fā)生單分散球形顆粒使其濃

度接近zui大飽和濃度，使用塵埃粒子計數器連續(xù)測量10次，取zui后一次測試結果，

在塵埃粒子計數器采樣口接過濾器測試10s后，檢測粒子發(fā)生器發(fā)生單分散球

形顆粒取*次測試結果，兩次測試結果進行比較，誤差應在±10%之內。

分辨率

在實測分辨率時，可采用單分散的標準乳膠球顆粒，顆粒尺寸為塵埃粒子計數器zui

小粒徑檔對應尺寸的2倍，采用粒子發(fā)生器發(fā)生，粒子為zui大飽和濃度10%，根據塵

埃粒子計數器尺寸校準曲線計算出標準偏差，

計數效率

隨著顆粒尺寸的減小，計數效率會逐漸降低，因此需對zui 小粒徑檔計數結果進行

考核。計數效率測量方法是根據塵埃粒子計數器測量范圍選擇與zui小粒徑檔相應尺

寸相同的單分散球形顆粒，采用粒子發(fā)生器發(fā)生單分散球形顆粒，使其濃度約為zui

大飽和濃度的25%，采用參考粒子計數器與待檢塵埃粒子計數器同時檢測，參考粒

子計數器可測量的zui小顆粒尺寸應小于待檢塵埃粒子計數器可測量的zui小顆粒尺

寸，參考粒子計數器可選用CPC（凝聚核粒子計數器）或塵埃粒子計數器，但它的

計數效率應小于5%，待檢塵埃粒子計數器檢測結果與參考粒子計數器檢測結果比值

應在30%～70%。選擇zui小粒徑檔相應尺寸的1.5～2倍的單分散球形顆粒，采用粒子

發(fā)生器發(fā)生單 分散球形顆粒使其濃度約為zui大飽和濃度的25%，待檢塵埃粒子計數

器檢測結果與參考粒子計數器檢測結果比值應在90%～110%。